近期,我們順利完成了浙江大學(xué)濕度可控動(dòng)態(tài)配氣系統(tǒng)GDS-LG42交貨驗(yàn)收工作!
近期,我們順利完成了浙江大學(xué)濕度可控動(dòng)態(tài)配氣系統(tǒng)GDS-LG42交貨驗(yàn)收工作! 1. 溫度可控動(dòng)態(tài)配氣測(cè)試系統(tǒng)包含配氣子系統(tǒng)(配氣儀)和材料與器件測(cè)試子系統(tǒng)兩大部分2. 配氣系統(tǒng):型號(hào):GDS-LG42參數(shù):(1) 支持4路以上氣體氣源和1路以上液體氣源連續(xù)動(dòng)態(tài)配氣,1路以上濕度控制,支持與其他品牌配氣儀串聯(lián)使用增加配氣通道數(shù)。(2) 流量控制:氣體質(zhì)量流量控制器10sccm-5slm,控制范圍2%-100%,流量精度≤±1%F.S,精度:≤±1%F.S,重復(fù)性:<±2% Rd,線性:<±0.5...