近期,我們順利完成了浙江大學(xué)濕度可控動(dòng)態(tài)配氣系統GDS-LG42交貨驗收工作!
1. 溫度可控動(dòng)態(tài)配氣測試系統包含配氣子系統(配氣儀)和材料與器件測試子系統兩大部分
2. 配氣系統:
型號:GDS-LG42
參數:
(1) 支持4路以上氣體氣源和1路以上液體氣源連續動(dòng)態(tài)配氣,1路以上濕度控制,支持與其他品牌配氣儀
串聯(lián)使用增加配氣通道數。
(2) 流量控制:氣體質(zhì)量流量控制器10sccm-5slm,控制范圍2%-100%,流量精度≤±1%F.S,精度:
≤±1%F.S,重復性:<±2% Rd,線(xiàn)性:<±0.5% F.S ,響應時(shí)間:1~2 S ;
(3) 稀釋比例:氣體氣源最大稀釋比10000:1;液體氣源濃度低至10ppb,
(4) 濕度控制:范圍2 - 95%,精度≤±0.8%,重復性≤±0.1%RH;
(5) 防腐性能:耐各類(lèi)強腐蝕性氣體以及各類(lèi)易揮發(fā)性液體,氣體管路防腐蝕、防吸附
(6) 包含配氣控制硬件和軟件套裝
2. 測試系統:
型號:HCP621G-PM
參數:
(1) 可與上述配氣系統組合進(jìn)行氣體催化、傳感等材料和器件測試;
(2) 包含光電氣測試高溫探針臺(進(jìn)口),溫度范圍:-190~600℃,溫度分辨率0.01℃,溫度穩定性:
±0.02℃,最大升溫速率100℃/min;進(jìn)氣口定制化設計,使氣體充分與樣品接觸,腔室內無(wú)死角設計;雙
通道測試,支持I-t, R-t, V-t, I-V, V-I等多種測試模式;電壓測量范圍:±200mV~210 V,電流測量范
圍:±100nA~3A,電阻測量范圍:10-3Ω~10GΩ;定制窗口材質(zhì),可用于紅外光透射,透射孔徑:2mm ,可
用于Thermo NICOLET 6700 紅外光譜儀;
(3) 包含16通道以上氣體傳感器測試模塊,支持電化學(xué)、半導體、光離子化等多種形式的氣體傳感器;
(4) 包含材料和器件測試控制和數據顯示軟件和硬件套裝。